Tel Track ACT 8/12 Upgrades and Modifications
반도체 8대 공정중, PHOTO LITHOGRAPHY공정의 코팅과 현상을 담당하는 PHOTO TRACK 장비중,
TOKYO ELECTRONIC사의 ACT8/ACT12 리펍 및 설치, 공정 RELEASE까지 진행하는 이른바 TURNKEY SERVICE를 제공합니다.
STEP 01
Configuration Modification
- TEL Act 8 & 12 unit 삽입 및 위치와 용도의 다양한 변경 대응
STEP 02
Hardware Modification
- Spin unit의 추가 및 용도 변경 개조
- Chemical Supply 변경 개조
- Modifiy Coat unit (SOD → Normal coat)
- Add RRC Pump & Nozzle (2Nozzle → 4 Nozzle)
- Add HHP, LHP, CPL and CHP unit
- Modify WEE unit ( Wafer type NOTCH → FLAT ZONE)
- PRA or IRA TRANSFER MOVING SPEED UP-GRADE
- PRA : X1,2,3, Z-axis (Motor & Driver)
- IRA : X-axis (Motor & Driver Change)
STEP 03
Software Modification
- Add Pump of Coater unit ( 0 pump to 4 Pumps)
- Change from oven unit (LHP to CHP)
- Change HHP & LHP
- Modify Interface type (nikon to ASML)
- Chemical Supply
- Modify Configuration & Wafer Flow (R/L) Type
STEP 04
ACT8 , 12, PRA, IRA ROBOT 개조
- ACT 8,12 PRA & IRA ROBOT SPEED 향상으로 생산성 향상